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丰盛装备高产能PECVD实现突破！
2018-01-12
笔者近日从某业内主流电池片厂了解到，深圳丰盛装备股份有限公司生产的新型HPE450型PECVD，量产工艺已取得重大突破！单管装片量达到432片，业内最高；工艺时间缩短到29分钟，远低于行业目前的35~38分钟。...
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丰盛装备高产能PECVD实现突破！