运输方式 ：合金履带式
硅片材料 ：5寸CZ单晶硅片
硅片厚度 ：180±10mm
电阻率 ：1-3Ω·cm
少子寿命测试：Semilab WT-2000
开路电压测试：万用表
实验数据
A、氧化温度 。
在这个条件中，我们全部的氧化时间为12minute。
可以看出，低温氧化时，由于SiO2的存在，硅片的少子寿命较正常的略有提高，但是随着氧化温度的不断提高，少子寿命下降严重，说明硅片本身质量不高，高温下生成缺陷的影响远高于SiO2钝化的影响。
B、氧化时间
恒温区温度为900℃，氧化时间分别取18minute、12minute、10minute；
对应带速为10ipm、15ipm、18ipm；
结果表明，随着高温时间的减少，硅片的少子寿命呈上升趋势。越长时间的高温带来越多的热损伤。[page]
C、摆放方式
多点支撑，即在网带和硅片之间放置石英的支点，避免与网带直接接触。
从图上看，支撑点越多，少子寿命越高，并且支撑点附近的少子寿命都比周围的高出很多，但是每个接触区域的中心都偏低。
合金的网带在高温时会引入高复合中心，导致载流子的复合增加，温度越高时间越长，带来的负面影响越大。
波长越大，扫描出来的网带印越明显，说明复合中心数量是由背面向中心递减的；多点支撑的实验又证明了硅片离开网带一定间距，有助于减少金属的污染。
在摆放方式的实验中，所有的分布图都存在一边或者两条边偏低的现象，有可能是局部温度过高或者气流冲击的影响。
链式氧化最大的问题是高温下网带的污染，这种污染甚至可以存在于周围气体中，严重增加了硅片尤其是背面的复合。而隔离履带与硅片，增加氧气流通，甚至开发新的传送方式或者材料，都是解决这些问题可能的途径。
在后续实验中，发现只要能运用适当的清洗剂和清洗方法，这种高温下的污染就有可能会减少很多，使开路电压恢复到630mV以上。
传统晶体硅太阳能电池链式扩散工艺
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实验数据与分析
实验结果主要从扩散方阻均匀性、表面浓度与洁深、电性能参数来分析。对于方块电阻均匀性，主要还是要保证表面亲水性好、喷涂均匀、扩散恒温场均匀。对于多晶材料稍差的电池片，可以双面喷涂扩散，大大提高了磷吸杂，减少了材料本身的有害杂质，降低了复合速率。
实验调节的方向，主要是从源量、扩散时间、扩散温度等方向进行调节，本实验0.09~0.011mg/片，方阻70~75，扩散时间660s。
目前，BTU链式扩散炉在大规模生产上比较主流，每小时1800片，转换效率平均16.90%。
相关事项
链式扩散与管式扩散相比，相同工艺条件下，表面浓度高、结浅，适合做高效电池和高方阻工艺的深入研究。
方块电阻均匀性能够达到±2以内，使PN结更加平整。
与比管式扩散相比，扩散源磷酸比三氯氧磷更加环保安全，110ml的混合液可以生产单晶3600片，多晶3000片。
自动化程度高，可以与现有制绒和边缘刻蚀工艺相连接，大大提高了产能，达到2000片/hr以上，对于提高和稳定转换效率起到一定作用。
生产中维护简单，与管式相比不需要做TCA或清洗石英管，不间断在线清洗，大大提高产能，降低了运营成本。
扩散重掺杂区是链式进一步提高转换效率的重点解决问题之一，通过所气相腐蚀的方法，大大可以降低表面复合速率，使Voc和Isc得到明显的改善。
高方阻工艺是链式扩散提高转换效率的必然方向，如果在实现高方块电阻的前提下，薄层电阻分布及其均匀，可得到很好的结平整度，效率将得到大幅度提升。
