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2015硅烷流化床法高纯多晶硅材料制备技术

2015-06-05

本文摘要：鉴于硅烷比其他氯硅烷能在更低的温度下进行反应，同时硅烷的提纯也更为容易，在长期的工业实践中，硅烷流化床法的技术发展的相对成熟，也是目前条件下建设新装置的稳妥选择。

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